單晶硅壓力變送器的工作原理和優(yōu)勢

        單晶硅壓力變送器的工作原理基于壓阻效應(yīng)。其重要元件是單晶硅片，通過集成電路工藝在單晶硅膜片上擴(kuò)散一組等值電阻，并將這些電阻接成橋路。

當(dāng)壓力作用于敏感元件時(shí)，單晶硅會產(chǎn)生應(yīng)變，導(dǎo)致應(yīng)變電阻的阻值發(fā)生與被測壓力成比例的變化。例如，壓力增大時(shí)，單晶硅受到壓縮，應(yīng)變電阻阻值減小；壓力減小時(shí)，單晶硅受到拉伸，應(yīng)變電阻阻值增大。阻值的變化通過橋式電路轉(zhuǎn)化為微弱的電壓輸出信號，再經(jīng)過適配單元和放大器進(jìn)行轉(zhuǎn)化、放大和處理，輸出標(biāo)準(zhǔn)化的電信號，如 4 - 20mA 的電流信號，以便于傳輸和被控制系統(tǒng)接收。此外，部分單晶硅壓力變送器還集成了溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補(bǔ)償?shù)膮⒖贾担軌蛴行p少溫度變化對測量結(jié)果的影響，進(jìn)一步提高測量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。